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机械式开关之金属薄膜光电开关

关键词:接近开关 光电开关 发布时间:2019-07-29 17:09:20 点击:

机械式开关之金属薄膜光电开关

  金属薄膜光电开关这类器件的有点不仅呈现良好的波导特性,而且克服了需要高电功率和工作速度不高的缺点。金属膜是利用微细加工技术制作,它和无源波导的接触依靠静电力。

  由于波导的包层金属膜,使用适中的驱动电压就可有效改变波导的折射率。悬浮张力的金属膜通常是使用淀积和化学腐蚀工艺制作在波导上。首先在衬底上采用淀积方法形成波导底包层 和波导芯层,接着在波导芯层上再形成沉淀层,沉淀层通常是光致抗蚀剂。之后在衬垫层上淀积具有张力的金属膜。接着在金属膜上刻蚀出腐蚀液进入的孔阵,孔阵不延伸到金属膜的边缘。腐蚀孔阵形成后,采用等离子腐蚀办法刻蚀掉孔阵下方的光致抗蚀剂。这样在金属膜下方便留下空气隙。

  通过在衬底和金属膜之间施加电压,由于静电力作用,便可将金属膜与波导接触在一起。当外加电压切断时,通过金属膜的内应力可使薄膜收缩而使金属膜与波导隔开。

  由于被激励的金属膜具有较大的光吸取系数,故可制作启、闭式光电开关或调制器,在理论上可获得很大的消光比。

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