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机械式光电开关中微光机电系统的光电开关

关键词:接近开关 光电开关 发布时间:2019-07-29 16:52:43 点击:

  机械式光电开关是传统的光电开关,在目前的光电传感器系统中已成为适合成熟的光电开关产品。一种实用化的机械式多模光电开关损耗小于1dB,开关时间小于1ms。但是传统的机械式光电开关以远不能满足快速发展的工业需求,而需不断研究卡法新型的机械式光电开关,适合具成效的是微光机系列光电开关和金属膜与无源波导相结合的光电开关。

机械式光电开关是传统的光电开关

  微光机电系统光电开关是微机电系统技术与传统光技术相结合的新型机械式光电开关。微光机电系统是基于半导体微细加工技术而成长起来的平面制作工艺技术,利用这种技术可以制作出微小而活动的机械系统。它采用集成电路标准工艺在衬底上制作出集成的微反射阵列。根据被驱动不见不同,可以把微光机电系统技术制作的光电开关分为两类:一类是基于传统的机械式光电开关,依靠驱动光纤达到光电开关的目的,其驱动力可以是热力,也可以是静电力。这类光电开关保持了传统机械式光电开关的高消光比特性 ,加之器件的体积大幅度缩小和器件开关速度的提高,故这类器件已开发出成熟的产品。

  另外一种机械式光电开关则是移动器件的其它部件,如微反射镜等,其驱动可以是热力效应,也可以是磁效应。

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